美国TMC 电阻尼#174；II主动空气振动消除(Electro-Damp II Active Air Vibration Cancellation)

美国TMC

电阻尼®；是个专门为提高半导体制造应用的吞吐量、分辨率和产量而设计的商用主动隔振系统。Electro-Damp II是对原始系统的全面重新设计，增加了模块化、数字控制、前馈、高力/高间隙执行器，以及多个数字用户界面，专门设计用于OEM应用，如微光刻、检查和计量工具。半导体制造工具对其隔振系统提出了相互矛盾的要求。为了应对地板噪音，系统必须柔软，以有效过滤地板振动，防止其到达隔离表面。同时，系统必须对级力做出刚性响应，以便级运动导致隔离表面的小位移，并快速沉降 ；除了采用惯性、主动反馈阻尼外，电阻尼II还使用信息前馈进一步改善系统响应。前馈的工作原理是从级控制器获取有关级位置和加速度的信息，然后处理这些数据，为有效载荷提供力驱动，从而大大减少由级引起的有效载荷运动。该系统可以读取前馈信息的数字，作为双极模拟信号，或通过读取正交编码器的输出。DC-2000数字控制器还可以使用阶段测试模式自动调整前馈所需的参数。这使得初始安装或有效载荷更改后的设置快速而简单。Electro Damp II的模块化允许系统仅与电子伺服阀（用于重型、低加速度应用，如CMMs）一起使用，仅与电磁驱动（用于使用高加速率的较轻级）一起使用，或两者结合使用，用于苛刻的应用。

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