美国TMC 斯泰西安静岛(STACIS Quiet Island)

美国TMC

半导体制造厂（FAB）、纳米技术中心、纳米晶圆厂和其他精密制造和研究设施通常包括带架空假地板系统的洁净室，以适应复杂的设施要求（管道、电缆、燃气管道等），并保持严格的清洁标准。这种地板对振动敏感的生产、检测和计量设备的安装提出了挑战。活动地板无法为此类工具提供必要的安静振动环境。TMC的安静岛®；这是一个创新的解决方案，用固定在下层的“安静岛”取代了部分活动地板区域。安静岛由一个与洁净室兼容的平台顶部、一个应用程序和特定于现场的支撑结构组成。振动消除安静岛独有的主要支撑元件和核心技术是STACIS III主动振动消除系统。这种“刚性”式惯性消振支撑系统对于任何振动敏感仪器都至关重要，使此类工具能够在其他噪声环境中以高标准运行。STACIS III兼容自动晶圆加工工具、高分辨率eBeam成像工具、离子束铣削工具，以及任何带有内部隔振系统的工具，包括被动隔振系统和主动隔振系统（请参阅我们关于在主动隔振器上叠加主动隔振器的白皮书）。此外，它在市面上宽的频率范围内提供了佳的隔振效果。而且，“硬安装”设计非常坚硬，因此对于高大、顶重的工具，不存在稳定性问题。对于非常短的活动地板，可以利用STACIS IIIc隔离器设计更紧凑的安静岛。立管和支架支撑STACIS隔离器的极为坚固耐用的立管由TMC经验丰富的工程团队设计，并在我们的ISO 9001工厂按照高标准和焊接认证制造。每个安静的岛都经过精心设计，以适应各种活动地板高度、地下几何结构和工具脚印。TMC在全球拥有数千台设备，支持200多种不同的仪器型号，拥有设计支持结构的知识和经验，以满足STACIS和您的设备的需求。刚性平台活动地板平台是TMC设计和制造的4英寸（100毫米）厚的钢板叠层，夹在轻质、不可压缩、阻尼的核心材料周围。刚性钢板和环氧树脂粘合成无缝不锈钢盘的分层效果提供了极高的刚度和结构阻尼。大的横截面和钢含量产生了非常高的整体刚度。顶部和侧面是一个连续的整体式不锈钢外壳，以保持清洁、外观和完整性。TMC根据需要设计和制造特定于应用的平台，包括切口、特殊形状、系紧孔和提升螺栓。

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