OLS4100岛津 扫描探针显微镜-岛津Shimadzu

OLS4100 专用物镜

有尖锐角的样品（剃刀）

○高度分辨率10 nm，轻松测量微小轮廓 
由于采用405 nm 的短波长激光和更高数值孔径的物镜，OLS4100 达到了0.12 μm 的平面分辨率。因此，可以对样品的表面进行亚微米的测量。结合高精度的0.8 nm 的光栅读取能力和软件算法，例如奥林巴斯开创的I-Z 曲线（请参阅第23 页），OLS4100 可以分辨出10 nm 的高度差。

(MPLAPON50XLEXT)
STEP Height Standard   Type B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany,
6 nm 高度测量中的检测

○克服反射率的差异 
OLS4100 采用了双共焦系统，结合高灵敏度的探测器，那些具有不同反射率材料的样品，也能在OLS4100 上获得鲜明的影像。