品牌/型号：岛津Shimadzu（SolidSpec-3700/3700DUV）库号：H1018069
岛津Shimadzu
型号:SolidSpec-3700/3700DUV
岛津 紫外分光光度计
是一款的高灵敏度分光光度计，可进行深紫外区检测，具备大样品室，可满足光学、半导体及FPD在以下方面的检测需求。
| 光学组件需要对透光率及反射率进行高精度测定。SolidSpec-3700/37000DUV拥有三个检测器，覆盖的范围从紫外区到近红外区。通过使用InGaAs和冷却型PbS检测器提高近红外区的灵敏度。从而得到从紫外区到近红外区高精度和高灵敏度光谱。 |
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| 传统的分光光度计使用一个光电倍增管对紫外和可见区域进行检测。但所有检测器在检测器转换范围内灵敏度较低，因此在此范围检测时无法实现高灵敏度测定。 SolidSpec-3700/3700DUV通过使用InGaAs检测器可在转换领域内进行高灵敏度检测。 |
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高灵敏度检测
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InGaAs检测器和PbS 检测器测定锐截止滤光片透过率的谱图如下图所示：SolidSpec-3700/3700DUV从850至1600nm范围内实现了低噪音水平，与传统的分光光度计相比，1300至1600nm范围内，噪声减少了四分之一。 SolidSpec-3700/3700DUV在1300-1500nm，在透过率小于1%的前提下，噪声水平小于0.1%。此波长范围的高灵敏度分析使SolidSpec-3700/3700DUV成为检测低反射样品的强有力工具，如在光传输中使用的防反射涂层及薄膜。 1500nm处的噪声为世界优水平，小于0.00005Abs（狭缝宽度8nm，RMS），删除使用直接受光单元DDU/DDU-DUV.小于0.00003Abs（狭缝宽度2nm，RMS） |
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随着以ArF激发激光为代表的使用深紫外激光的高精度激光仪器的发展，提高了对光学材料深紫外区透过率和反射率的测定要求。 SolidSpec-3700DUV使用积分球时可在175nm-2600nm的范围测定，而使用选配件直接受光单元DDU-DUV时可在165nm-3300nm的范围测定。 使用此附件，可实现从深紫外区到近红外区宽范围的测定。 空气中的氧分子会吸收190nm以下的深紫外光，需要使用氮气吹扫光室和样品室以除去氧分子的干扰。SolidSpec-3700DUV各单元都设有吹扫入口，可进行充分的氮气吹扫，以实现深紫外区的高灵敏度和低杂散光。 |
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为进行深紫外区的测定，检测器的窗口和积分球内壁均使用不吸收深紫外光的材料，SolidSpec-3700DUV的PMT检测器使用特制熔融石英作为窗口材料，积分球内壁使用深紫外区具有高反射性能的特殊树脂。
深紫外区高灵敏度和低杂散光测定
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深紫外区的高精度测定要求充足光通量和低杂散光。 |
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SolidSpec-3700/3700DUV配有大样品室，可使大样品进行无损检测。其内部尺寸为900W x 700D x 350H。
可测定的大样品尺寸700W x 560D x 40H mm。样品尺寸为12英寸或310 x 310 mm的样品可用自动X-Y样品台（选配）
使用X-Y样品台的大样品室
| 使用X-Y样品台测定12英寸硅片 |
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自动检测
为SolidSpec-3700/3700DUV研发的自动X-Y样品台可对提前指定点进行自动检测，同时又可进行氮气吹扫。
| 12英寸硅片上SiO2薄膜的反射光谱 |
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| 12英寸硅片上薄膜的厚度测定 |
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