德国SIOS 高精度校准器EPP series

德国SIOS

测量块校准系统

EPP 系列
• 使用 LM 20 激光干涉测量探头作为上测量探头，可在 20 mm 的测量范围内实现高精度和线性度。
• 根据 PTB 的建议（德国国家标准局），参考标准测量块的总数可能减少到 15 个。
技术数据：
• 测量范围：0.5 mm... 100 mm
SIOS 型号 LM 20 激光干涉测量探头：
• 测量范围：20 mm
• 分辨率：1 nm
• 不确定性：≤ ±10 nm 超过 15 mm
• 测量力：1 N
应用：
• 带矩形交叉的平面平行测量块校准截面从 0.5 mm 到 100 mm 不等
• 符合 ISO 3650 标准的测量特性尺寸参数

设计和操作主要性能特点
EPP 系列测量块校准系统用于校准并行侧面测量块采用 LM 20 激光干涉仪测量探头作为其上部测量
探头。 它的测量范围为 20 毫米，长度分辨率为 1 nm。 德国国家标准局（PTB）进行的调查显示，在用于校准仪表块时，该测量探头的公制误差小于 10 nm。 根据 PTB 的一项建议，带有 122 件套测量块的参考标准测量块的总数
可以减少到 15 个。
校准程序确定系统线性度误差（由于对齐失调、测量探头的角度偏差以及热效应引起的误差），并对其进行校正。

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