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韩国Park Systems 原子力显微镜NX-Wafer

韩国Park Systems 原子力显微镜NX-Wafer

品牌/型号:韩国Park()库号:H10111391

电联
保障:含运含税正品保障质保天

韩国Park

NX-Wafer是*具有自动缺陷审查功能的晶圆厂AFM。它为缺陷成像和分析提供了一个完全自动化的AFM解决方案,可将缺陷审查的生产率提高到1000%。

独特的功能。

低噪音原子力分析器,用于精确、高产量的CMP轮廓测量
以极高的精度测量亚安格伦的表面粗糙度,并将针尖与针尖之间的差异降至*低

智能ADR软件
通过Park的Smart ADR NX-Wafer,可以提供全自动的缺陷审查和识别,通过高分辨率的三维成像,实现关键的在线流程,对缺陷类型进行分类,并找出其来源。

Smart ADR是专门为半导体行业设计的,是目前*先进的缺陷审查解决方案,具有自动目标定位的特点,不需要经常损坏样品的劳动密集型参考标记。与传统的缺陷审查方法相比,智能ADR过程可提高生产力达1000%。此外,由于Park公司突破性的True Non-Contact™ Mode AFM技术,新的ADR能力提供了高达20倍的针尖寿命。

阅读更多:https://www.parksystems.com/index.php/products/industrial-afm/park-wafer/overview

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