美国Sputtering Components 电池薄涂层旋转喷雾仪CC

美国Sputtering

CC的封装极为紧凑，专为80毫米内径的靶材设计，是小型系统或研发系统的绝佳选择。


规格
种类

简单的单端设计，带外置支持，可快速更换靶子，可靠性高，易于维护；适用于80毫米内径靶子。
功率（*大）

20 kW DC或MFAC
V/A

1500 V / 50 A
目标长度（*大）

1000毫米
厚度

122毫米
维护

根据您的日程安排，在您的设施中自己动手；即将推出教学视频。

端块可以保持安装。

典型要求：

每2年更换一次密封套件和衬套（30分钟）。
4年后的静态密封、轴承和皮带(1小时)

可提供定制工具

特点和优势 内部安装端块

填充和排水
-
*；水完全充满目标，以获得更低的工作温度/更高的功率；目标变化时完全排空。
-
驱动器
轴承
-
*SCI；经过测试，验证多年无故障运行。
-
功率传输
-
无刷，获得*；无需更换刷子，无碳刷粉尘；额定功率高，动力传输可靠。
-
真空、水封
-
双唇和冗余；可容忍干涸的运行；无需拆除端块即可轻松更换；可监控

目标附件
-

连接到任何供应商的靶子上，以实现经济采购；高承载力；快速更换靶子。
-
安装
-
可使用现有的安装孔和公用设施连接以任何方向安装；可调节磁棒溅射角度。
-
驱动器
-
坚固可靠的变频电机和皮带驱动；允许设计的灵活性，容易改变TTS距离；监控旋转。

联系我们