品牌/型号：Teledyne API（ODS系列）库号：H10670
ODS系列高浓度高纯度臭氧输送系统为要求最高的半导体应用而设计。这个高度可靠的臭氧输送系统适合需求不同流量的高浓度臭氧的应用中。该臭氧输送系统整合完全，操作简单，能够方便的与绝大多数半导体机台联动，插入即可使用。
该系统基于微处理器的控制器能够根据用户提供的设定值伺服控制臭氧输送。
该臭氧输送系统包括多通道臭氧泄露探测器和带排气系统的外壳。全部的气体管线都有双重保险。
Teledyne API (TAPI)设计和生产精准的空气质量监测和工业流程气体监测仪器，Teledyne API工厂位于美国加利福尼亚州圣地亚哥。Teledyne API工业气体系列产品包括IN USA和TAPI的臭氧分析仪、发生器、测量仪器和臭氧输送系统，可用于气体和溶液应用当中。这些仪器适用于许多工业流程中，例如半导体、水处理、餐饮和制药。
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